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双温区滑道旋转管式炉CVD系统
1.本产品主体结构是双温区滑道旋转管式炉，炉管中部有混料隔板，能够随着炉管的旋转将粉体或者颗粒反复混合，
2.通过机械传动控制工作管能360°不间断旋转，使得管内物料搅拌混合获得均匀受热效果；
3.炉体在支架上能够前后滑动，可以实现快速升降温。
4.设备配有两路浮子流量计，可用于向路管内通入两种气体，
5.同时设备配有高性能机械泵，能够快速将炉管抽至真空；通过泵和气路的配合可以实现多种CVD工艺。
6.旋转装置十分适合在气氛保护的环境下连续对粉末材料用CVD方法进行包裹和修饰。
技术参数
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双温区管式炉 |
产品型号 |
TN-O1200-60IIT-R |
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设备功率 |
3KW |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管直径 |
60mm |
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炉管长度 |
1600mm |
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炉膛长度 |
440mm |
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加热区长 |
200mm+200mm |
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工作温度 |
0～1150℃ |
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极限温度 |
1200℃ |
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控温精度 |
±1℃ |
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控温模式 |
30段或50段程序控温 |
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显示模式 |
高清全彩LCD触控屏 |
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密封方式 |
304不锈钢真空法兰 |
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供电电源 |
AC:110V 50/60Hz 2.5kW |
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滑轨长度 |
2030mm，可滑动范围1500mm |
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旋转速度 |
0~20rpm |
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2路浮子流量计 |
产品型号 |
CY-2F |
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气路数量 |
2路 |
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流量计类型 |
浮子流量计 |
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测量范围 |
A路：0~160mL/min; B路：0~100mL/min |
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测量精度 |
4% |
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管道耐压 |
不锈钢管，耐压3MPa |
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流量计耐压 |
1标准大气压 |
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管路接口 |
φ8mm快拧接口 |
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真空系统 |
真空泵 |
双极旋片泵 |
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抽速 |
1.1L/s |
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抽气接口 |
KF16 |
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泵极限真空度 |
10E-1Pa |
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供电 |
AC110V 50/60Hz |
